TWINS

TWINS

TWINS 시스템은 엣지 트리밍(Edge Trimming) 공정의 계측과 결함 검사를 위하여 공정 장비에 통합설치되는 모듈(Integrated inspection system module)입니다.

현재의 반도체 제조 공정에서 엣지 트리밍(Edge Trimming) 공정 후 별도의 독립(Stand-alone) 광학 검사장비에서 크렉(Crack), 칩핑(Chipping) 등의 결함 검출 공정을 진행하기 때문에 발생하는 공정 지체, 생산 비용 상승, 샘플 검사의 문제점 등으로 인한 손실 등을 해결하고자 엣지 트리밍(Edge Trimming) 공정 장비에 통합설치(Integration) 되어 엣지트리밍(Edge Trimming) 공정 상태를 실시간으로 모니터링함으로써 엣지 트리밍(Edge Trimming) 양 계측 및 크렉(Crack), 칩핑(Chipping)과 같은 불량을 즉시 검출하여 엣지 트리밍(Edge Trimming) 공정의 안정성을 실시간으로 보증합니다.

Applications

Edge Trimming 양의 실시간 측정
Edge Trimming 공정의 Crack, Chipping 발생 검사
Wafer Edge inpsection