Cube Scan

Cube Scan

Cube Scan 기술은 다중 비초점면 3차원 이미지 비교 기술로 기존 광학 장비의 패턴 분해능 한계를 뛰어넘어 나노미터급 패턴의 CD 계측과 HAR 패턴 내부에서 발생하는 결함을 검출할 수 있다. AEGIS와 IRIS Platform 모두에 적용할 수 있다.

Applications

Profile Measurement for FinFET Structure
Defect Inspection for HAR Process