NEXTIN의 혁신적인 2차원 이미징 기술을 기반으로 한 웨이퍼 감사 시스템인 AEGIS 시리즈는 1x nm 노드 이상의 복잡한 반도체 제조공정에서 발생하는 다양한 결함을 빠른 고감도 검사로 발견함으로써 조기 공정 안정화 및 수율 향상를 위한 고객의 노력에 효과적으로 대응하는 가성비가 높은 고성능 웨이퍼 검사 장비입니다.

Bright field와 Dark field 동시 검사 및 NEXTIN의 특허인 듀얼 미러 촛점 평면 어셈블리 기술은 가장 빠른 검사 속도로 고감도의 결함 검사를 가능하게 합니다. AEGIS 웨이퍼 검사 시스템은 200mm 와 300mm 웨이퍼를 모두 지원함으로써 다양한 고객의 요구에 대응하고 있습니다.

AEGIS 웨이퍼 검사 시스템은 필름 공정, 패턴 형성 공정, 평탄화 공정, 이온주입 공정, 클리닝 공정 등 반도체 공정에서 발생하는 Bridge, Thinning, Projection, Foot 등 패턴 결함뿐만 아니라 Scratch, Particle 등 다양한 결함을 효과적으로 검출하는 가장 가성비가 좋은 장비입니다.

Applications

STI, poly, contact, and gate etch
Metal and via/trench etch
Cu CMP
Micro ADI/photo cell monitor
Tool monitor
Films and Post-CMP films